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2022

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半導體制造


半導體器件的生產,除需要超凈的環境外,有些工序還必須在真空中進行。比如很多半導體器件,如光碟機(CD、VCD和DVD)和光纖通信中用的半導體激光器,雷達或衛星通信設備中的微波集成電路,甚至許多普通的微電子集成電路,都有相當部分的制作工序是在真空容器中進行的。真空程度越高,制作出來的半導體器件的性能也就越好?,F在,很多高性能的半導體器件都是在超高真空環境中制作出來的。

半導體制造設備大量采用步進電機、伺服電機以及精密機械傳動部件,以實現設備的自動化和智能化,同時也要求電機和機械傳動部件能在高真空、高低溫環境長期穩定工作,并具有低逸氣性能,不污染真空環境。

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